以技术为依归，以服务为支持

我们将以“为中国智造”添砖加瓦的历史使命，要求自身，恪守科研精神，造国之所需，造民之所需。
我们以开拓进取的积极心态，努力在半导体设备智造业史上留下属于“众鸿”的篇章。

技术服务覆盖Litho,Etch,Thin Film工艺

TEL TRACK

TEL TRACK

  • 再制造&再制造
  • 技术服务
  • 装机
  • 调试
  • 配件更换
  • Coat & Dey 改造升级
  • 晶圆尺寸配套改造
  • MA, CS Arm 再制造
  • WEE Lamphouse 再制造
  • CP, HP 再制造
  • Heater Exchange 再制造
  • T&H, Monitor 再制造

配件维修

维修/再制造

Main Arm ，C/S Arm ，WEE ，THERMO-CON ，Temp CTL , ACU, DC Power, T&H , Spin Motor & Driver , CP Unity etc.

配件维修

8寸

Robot Overhaul

  • Application System : TEL Unity2e
  • Maker : Yaskawa Electric
  • Controller Model : SRC- Ⅰ or SRC-Ⅱ
  • Robot Type : VS2A or VS2B/VS2C/VS2E
  • Pre-Aligner Type : V0SJ, V0SH

Stable Transfer → Increase Up-time

Gap ass’y Overhaul

  • Application : SCCM, DRM, IEM, PE chamber
  • Chain change
  • Bearing Change
  • Balance Calibration

改造升级

Vacuum Arm

机械手臂

  • Main arm modify to vacuum arm, centering accurate transmit.
  • ETCInclude Tel Scurrber tool main arm modify.

PDP to LCD

操作面板

  • PDP is easilybroken.
  • Improve clarity, operation more convenient for user.

External Sensor

BUFFER TANK

  • CHEMICAL BUFFER TANK内置型 SENSOR ，老化频发发生报废 。
  • 外置SENSOR 无接触 CHEMICAL ，避免腐蚀导致SENSOR 报废 。
  • BUFFER TANK 的CHEMICAL LEVEL (LL , L , H , HH)调整简单及节省时间。

改造升级

12寸

LLM 马达

  • Application System :TEL Telius
  • Maker : Nabtesco
  • Type : 2L80-0001555-XX
  • Stable Transfer → Increase Up-time

LLM 手臂

  • Application System : TEL TELIUS
  • Description : LLM Arm Assembly
  • Stable Transfer → Increase Up-time

TEL ETCH技术服务

  • Refurbishing & Remanufacture
  • Gap Overhaul
  • Technical Service and Support
  • PM Service
  • Installation & Start-up
  • Parts Supply & Services
  • Chamber Addition & Upgrade 
  • Parts Replacement
  • Calibration or Re-calibration
  • Magnet Overhaul
  • Robot Overhaul
  • Wafer Size Conversion

Lithography技术服务

二手备件及维修类

序号 名称 规格型号
1 控制基板（买断or维修） WL2CNT等
2 通讯基板（买断or维修） NK862等
3 驱动基板 EPDRV2 等
4 干涉计（买断or维修） 5517A/5517B/
5517C/5517D
5 shutter马达（买断or维修） UGRMEM-01SNQ12等
6 OF马达 ETC-266206 200/3CH
7 照度计 全系列
8 汞灯电源 全系列
9 LC Relay Amp/ZT Relay Amp（买断or维修） SF系列
序号 名称 规格型号
1 测试光罩 A版、 B版、CD版、 DIS版、 MF版
2 LC Relay Amp SF系列
3 光学镜片 照明系列
4 基板 6层板以下系列
5 bellows马达 全系列
6 cassette 6inch/8inch

国产替代类

调试服务

  • 传输改造
    WL及RL改造；4寸/6寸/8寸
  • 镜头调试
    物镜调试；照明系镜片更换及清洁
  • 微环境改造
    无尘室微环境控制系统及光刻机空调系统改造
  • 操作系统改造
    TDPDP11Z73(93)系列安装及更换等

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维保及改造服务

  • 机型
    NIKON 308以下全系 列（含parts）
    CANON ES6以下
    ASML
  • 改造
    软驱改造成USB读写
    光刻胶流量计改造

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设备迁移服务

  • 搬运准备
  • 气垫搬运
  • 物流运输
  • 组装调试

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Thin Film 技术服务

CMP Supply/Repair

备件销售

  • thumbnailCMP Encoder cable
  • thumbnailCMP Power cable
  • thumbnailCMP platen Goear box

零部件维修

  • thumbnailCMP Head rotation motor driver
  • thumbnailCMP Yaskawa Platen motor
  • thumbnailPOWER SUPPLY
  • thumbnailORION HEATER DRIVER
  • thumbnailNSK MOTOR

Magnet Supply/ Overhaul（部分型号展示）

Magnet LIST（150-200mm）

  • thumbnail
  • thumbnail

MCA CHUCK-MCA Repair

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型号展示

NO 图片 Chamber 工艺 MCA Model
1 model thumb ENDURA1_HT Al 0010-23066
2 model thumb ENDURA2_HT Al 0010-27430
3 model thumb ENDURA1_SLT Ti 0010-07815
4 model thumb ENDURA2_SLT Ti 0010-22985
5 model thumb ENCORE Ta 0010-24456
NO 图片 Chamber 工艺 MCA Model
1 model thumb ENCORE DT PUCK Cu 0010-315810010-41276
2 model thumb COBALT Co 0010-279830010-27431
3 model thumb RF COBALT Co 0010-56201
4 model thumb ENDURA 200mm Al 0010-01926
  • 基本所有型号的MCA产品都可进行维修
  • 每年平均维修:390~400次EA(200/300mm)

配件销售

炉管设备用碳化硅零部件

可定制，对标T社，K社

  • 碳化硅支撑桶
  • 碳化硅销
  • 碳化硅内管
  • 碳化硅舟架
  • 碳化硅工艺管
  • 碳化硅舟
  • 碳化硅均热管

acc sales

石墨备件的碳化硅COATING

配件销售

acc sales