Products
Remanufacturing equipment
对应设备:
I 系列 : i9,i10,i11,i12,
i14SF系列 :SF120,SF130,
S 系列 :S203,S204,S205,S207
应用领域:
集成电路,化台物半导体(GaAS、GaN、SiC、滤波器),功率器件,MEMS,先进封装等。
产品优势:
光刻机+涂胶/显影更佳完整的调试并交付客户
10年以上经验技术人员专业装机/维修服务
国内+国外较为完整配件供应服务
提供整套拆/移/装服务
适用晶圆尺寸:6&12inch或兼容
对应设备:
FPA 3000 系列 : i4,i5,ex6
FPA 5000 系列 :es4、es5
FPA 5500 系列 :iz、iz+、iza
应用领域:
集成电路,化台物半导体(GaAS、GaN、SiC、滤波器),功率器件,MEMS,先进封装等。
产品优势:
光刻机+涂胶/显影更佳完整的调试并交付客户
10年以上经验技术人员专业装机/维修服务
国内+国外较为完整配件供应服务
提供整套拆/移/装服务
适用晶圆尺寸:6&12inch或兼容