干法去胶设备

8寸设备

韩国【S社】成熟技术研发产品【光阻去胶】8寸设备，已在韩国进行DEMO评估中，计划2022年Q1 技术导入国内制造，初期针对特殊工艺MEMS ,化合物芯片制造领域客户：中芯国际（绍兴），中芯国际（宁波），三安集成，积塔半导体，新微半导体，立昂微，英诺赛科…等

化合物半导体

工艺能力：> 0.18um
产品：砷化镓（GaAs) ,氮化镓（GaN),
碳化硅（SiC), 滤波器 （Filter）

微机半导体

工艺能力：> 0.18um
产品：MEMS

硅基半导体

工艺能力：> 90nm
产品：IGBT ，CMOS ，MPU ，MCU，
DSP，RAM，ROM，Flash ，