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上海众鸿“涂胶显影自研设备”首发秀

2021.03.15

助力“东方芯港”

2021年3月10日上午9:08,众鸿半导体项目签约仪式在临港产业区公司圆满举办。众鸿半导体项目主要进行光刻工艺的主设备—涂胶显影设备的国产化研发,将于2021年6月入驻临港产业区钻石园8-2厂房进行设备的批量生产。2019年众鸿已在临港产业区新侨产业园注册成立研发中心。

 众鸿半导体在总公司众鸿电子耕耘10多年中古设备的基础上,将通过总公司的经验积累及技术积淀,致力于研发与制造更适合中国企业应用的涂胶显影设备,将全力以赴为集成电路工艺设备国产化出力,推动涂胶显影设备的进口替代在临港新片区起航,助力“东方芯港”打造集成电路全产业链生态体系。基于此次众鸿半导体与临港产业区公司合作的良好契机,我司将继续急跟临港新片区集成电路产业集聚的优势和潜力。

半导体产品尺寸转型行业有一句话:一代设备,一代工艺,一代产品。硅单晶的直径在增加,从2英寸,到3英寸,4英寸,5英寸,6英寸,8英寸,现在它已经进入了12英寸的时代。2021-2023上海众鸿将计划投入12寸涂胶显影设备及其他半导体设备研发并量产化。

 

新起点,新征程!

市面上8英寸设备为何如此紧缺?这主要因为国际大厂停产8英寸设备已多年,而且自2019年初,几乎就没有8英寸工厂正常出售了。就拿韩国的Magnachip被SKHynix整体收购来说,没有经过公开竞价的过程。

供需的不平衡势必导致价格不同程度的上涨。目前6英寸及8英寸二手设备近几年价格呈现持续上涨的趋势,每年上涨幅度可达30%。12英寸设备在市场需求的驱使下,近两年价格也开始逐渐攀升。

面对如此大的8英寸设备缺口,而8英寸设备又遍地难寻的情况下,该如何解决?目前主要有三大途径解决:一是高价抢购现有市场上还在流通的单机,比如尼康i线光刻机,这种设备近半年涨幅达到50%;二是使用12英寸设备改造,部分12英寸量测设备,经过一定改造可以使用在8英寸甚至更小尺寸晶圆上,或者将6英寸设备改造成8英寸;三是采取国产替代。

正是基于此良好契机,上海众鸿将自研8英寸涂胶显影推入市场。

2021年3月15日上午,上海众鸿首台自研8寸涂胶显影设备胜利到达三安集成,这标示着上海众鸿的新起点,新征程!

 

结语:在十数年来,半导体二手设备都为半导体的生产做出了巨大的贡献,在如今这个档口,对国内半导体而言,国产自研设备将成为我国实现大幅提高芯片自给率的目标的强有力支撑。

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