立式炉管设备

ZHF- 200
8～6inch
(立式炉管Furnace)

尺寸：900 x 1900 x 3060mm

广泛应用于硅基Si、功率器件IGBT、碳化硅SiC、化合物等领域。

技术参数：

  1. Wafer 尺寸：200mm.(or 150mm)
  2. Batch 尺寸：150wafers/1tube
  3. 工艺压力：大气压 / 低压
  4. 耗电量：MAX 3Φ, 480VAC, 200A, 60Hz
  5. 冷却水：5kgf/cm2 5千克力/平方厘米
  6. 排气系统：1500CFM
H2退火炉 干/湿氧化 合金
混合气体退火炉 高温工艺（最高1300℃） 低温氧化物
正硅酸乙酯 氮化物 多晶硅