快速退火炉 RTP

ZHR- 200
8～6inch
(快速退火炉)
尺寸：1200 x 1730 x 2045mm
广泛应用于硅基Si、功率器件IGBT、碳化硅SiC、化合物等领域。

产品优势：

  1. 温度范围 400~1300℃
  2. SEMI S2认证，包括有毒气体选项， 使用NH3实现高级应用
  3. 卤素灯系列-Max 1200deg.C
  4. 最佳环境控制<2ppm O2-低浓度处理高TPT
  5. 占地面积1.8m²- 洁净室空间利用率高，单位面积晶圆产量高
  6. 通信协议-快速、简便、高效的维护
No 阶段 目的 数量 Slot 技术参数 备注
1 匣盒载物台A, B 匣盒 6英寸或8英寸 2 25(26) 1) 按匣盒大小检测传感器
2) 晶片滑动检测传感器		 –
2 W晶片对准器 晶圆对中 1 1 1) 气缸驱动
2) 晶圆检测传感器
3) 工装材料 : 聚醚醚酮		 –
3 机器人 晶圆输送 1 1 1) 晶圆检测传感器（真空）
2) 工装材料: 聚醚醚酮		 –
4 测试芯片阶段 测试片原料 1 2 1) 阶段材料：聚甲醛 –
5 冷却阶段A, B 晶圆冷却 2 1 1) 冷却方法: 冷却水
2) 晶圆检测传感器
3) 气缸驱动
4) 阶段材料:304不锈钢
5) 管脚材料：石英		 –
6 晶圆原料 基座原料狭槽 1 5 1) 5-狭槽 (6英寸晶圆)
2) 材料：聚甲醛		 特殊选项