单片旋转式清洗设备

ZHS-300
12～8inch
8正配置 WPH ＞430片
4正4反配置 WPH ＞370片

应用领域：

硅基，化合物半导体，滤波器，先进封装，功率器件，Micro LED等领域。

产品优势：

  1. 高品质—CLASS 10环境等级；静电消除系统
  2. 多样性—不同清洗方式满足不同工艺的需求
  3. 定制化—根据客户需求进行配置
  4. 先进性—最新操作系统，软件功能多样性
化合物半导体

工艺能力：> 0.18um产品：砷化镓（GaAs) ,氮化镓（GaN),碳化硅（SiC), 滤波器 （Filter）

微机半导体

工艺能力：> 0.18um产品：MEMS

硅基半导体

工艺能力：> 90nm产品：IGBT ，CMOS ，MPU ，MCU，DSP，RAM，ROM，Flash ，